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코팅머신
- 보유부서첨단의료기기개발지원센터 오송첨단의료산업진흥재단
- 제조사Nanofilm
- 모델명BFNI-0505
장비개요
진공 코팅 시스템은 필터링 음극 진공 아크의 박막 코팅 기술과 스퍼터링 코팅 뿐만 아니라 전처리용 이온빔 클리닝 및 에칭 기술을 컴팩트하게 결합하여 원하는 다양한 코팅 응용 프로세스를 구축하고 신뢰성과 효율성을 갖춘 펌프 시스템 특별하게 설계된 기판 픽스처 자전 및 공전 능력의 바이어스 기판 홀더 등을 이용하여 다양한 모양과 크기의 다층 박막 코팅 장비.
장비상세정보
| 취득일자 | 2014-05-02 | 제작국가 | 싱가포르 |
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| 장비상태 | 활용 | 활용범위 | 기관외부활용 |
| 장비용도 | 분석 | 설치장소 | 충청북도 청주시 흥덕구 오송읍 오송생명로 123 오송첨단의료산업진흥재단 첨단의료기기개발지원센터 F1층 123 |
| 연락처 | 0432009664 | ||
규격 및 특징
- Coating Coverage - coating area(mm) : Ø 450 X 120(H) mm - Multi source process chamber - Turbo pump : 1500L/S - Base pressure : 5.0 X 10-7 torr - Substrate rotation speed : 10rpm - Multi-Source process chamber Size : Ø600mm X 600mm(H)