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투과성 박막 두께 측정기
- 보유부서첨단의료기기개발지원센터 오송첨단의료산업진흥재단
- 제조사엘립소테크놀러지
- 모델명Elli-SE-U
장비개요
Spectroscopic Ellipsometer는 여러 종류의 박막(유전체 박막, PVDF 박막 등)의 두께를 측정하기 위한 장비로서 의료용 마이크로 전자부품 및 센서를 제작 시 마이크로 구조물에 증착된 Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께 및 굴절률, 반사율을 비 접촉/비 파괴적 광학적으로 측정하기 위해 필요한 장비임.
장비상세정보
| 취득일자 | 2015-03-10 | 제작국가 | 대한민국 |
|---|---|---|---|
| 장비상태 | 활용 | 활용범위 | 기관외부활용 |
| 장비용도 | 계측 | 설치장소 | 충청북도 청주시 흥덕구 오송읍 오송생명로 123 오송첨단의료산업진흥재단 첨단의료기기개발지원센터 F3층 318 |
| 연락처 | 0432009691 | ||
규격 및 특징
Ellipsometer wavelength range : 240 nm ~ 1,000 nm
Beam spot size(단축기준) : 2mm ~ 5 mm
Measuring constants : Film thickness, n, k vs λ, Reflectivity
Measuring Thickness range: 1A ~ 10 μm
Max. number of layers for measurement : 10 layers
Throughput : 10~20 sec/point
Repeatability (10 times measurement) : ±0.3A 이상
Resolution : 1A 이하
Dispersion relations : Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical
Micro scope type Reflectometer wavelength range : 450 nm ~ 900 nm