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열전자빔 증착시스템
- 보유부서첨단의료기기개발지원센터 오송첨단의료산업진흥재단
- 제조사코리아바큠테크㈜
- 모델명KVS-4000 Series
장비개요
열전자빔 증착시스템은 각종 금속과 무기물질에 전자빔과 열원을 이용하여 원하는 박막을 기판위에 증착시키는 장비이다. 이 장비를 이용하여 금속이나 무기물질을 단층증착 및 다층증착이 가능하다.
장비상세정보
| 취득일자 | 2015-04-02 | 제작국가 | 대한민국 |
|---|---|---|---|
| 장비상태 | 활용 | 활용범위 | 기관외부활용 |
| 장비용도 | 분석 | 설치장소 | 충청북도 청주시 흥덕구 오송읍 오송생명로 123 오송첨단의료산업진흥재단 첨단의료기기개발지원센터 F3층 318호 |
| 연락처 | 0432009732 | ||
규격 및 특징
1. 시편가열최고온도 : 800℃
2. 시편증착균일도 : ± 5% 이내 @ 6 inch sample
3. 진공도달능력 : 2.0E-7 torr 이하
4. 장비제어방식 : 인간 친화적 그래픽 구현 판넬 PC + Labview Software (자동)
5. 장비안전 : 진공, 냉각수, 압축공기와 시스템 간 안전 연동 방식 (PLC Interface)
1) PROCESS CHAMBER
- MATERIAL : SUS 304 / FRONT DOOR TYPE
- 6" VIEWPORT INTERNAL SLIDE GLASS ( EASY MAINTANCE )
- CHAMBER WALL ELECTRO POLISHING & WATER COOLING JACKET
- CHAMBER 내부관측용 VIEW WINDOW & LED LAMP
- CHAMBER INTERNAL SHIELD COVER ( EASY HOLDER )
- DOOR OPEN/CLOSE INTERLOCK SENSOR
2) LOADLOCK CHAMBER
-. LOADLOCK CHAMBER . MATERIAL : SUS 304 /CHAMBER WALL ELECTRO POLISHING . TOP FLANGE WITH VIEW WINDOWS PORT - SUBSTRATE LOAD/UNLOAD LINEAR MOTION VACUUM ROBOT . SAMPLE FORK (ALUMINUM)
3. VACUUM PUMPING UNIT
* PROCESS CHAMBER
- TURBO PUMP & CONTROLLER (LEYBOLD): 1 SET . PUMPING SPEED : 1,000 L/Sec (N2) 이상
- VACUUM PUMP : 1 EA (KODIVAC) . PUMPING SPEED : 830 L/Min @ 60Hz 이상
- TMP ISOLATION GATE VALVE (PNEUMATIC) : 1 EA . Metal Bonnet, Position Indicator
- ROUGHING & FORELINE PUMPING . NW40 ANGLE